S51.ZT0SK-B1壓電偏擺臺(tái)

S51.ZT0SK-B1壓電偏擺臺(tái)是一款定制型壓電偏擺臺(tái)，可產(chǎn)生 θx、θy 兩軸偏轉(zhuǎn)及 Z 向直線運(yùn)動(dòng)，中心具有大型通孔，適于透射光等應(yīng)用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

 θx、θy 偏擺，Z 向升降

 閉環(huán)定位精度高

 響應(yīng)速度快

 透光孔：200×200mm

 可選真空版本

產(chǎn)品應(yīng)用

 掃描顯微

 激光合束對(duì)準(zhǔn)

 干涉 / 計(jì)量

 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)

 生物技術(shù)

 掩模與晶片位置調(diào)整